在微米纳米尺度上，设计、制造并集成具有特定功能的精细微纳结构的尖端技术，是推动生物医疗、新一代通信、智能感知等领域发展的核心引擎。

代表性功能微纳结构及应用：

1. 微针阵列，应用于生物医疗应用领域，实现无痛透皮给药、组织液提取与即时检测；

2. 封闭微流道，应用于生物芯片、化工、电子领域，实现单细胞分析、疾病快速诊断、微反应器、芯片液冷等；

3. 微悬臂梁，应用于传感器、执行器领域，作为原子力显微镜探针、生化传感器、微开关、射频滤波器等。

核心技术体系：

1. 结构设计理论与方法——多功能耦合与跨尺度协同。例如，设计微针时需同时考虑穿刺皮肤的力学性能、促进药物释放的表面微纳结构，以及可能集成的微流道与电极。

2. 制造原理、工艺与装备——前沿增材制造（微纳尺度3D打印）、传统与特种加工（光刻、电铸、微注塑、纳米压印、飞秒激光、自组装等），将先进的感知、决策与控制技术深度融入成型装备，实现加工过程从“经验驱动”到“模型与数据混合驱动”的转变，其目标是解决复杂构件成型过程中精度、效率和一致性的核心难题。。

3. 微系统集成——将制造好的微纳结构与传感、电路、执行器等集成，形成可独立工作的系统。核心挑战是在“尺寸、重量、功耗、成本”的极限约束下，实现功能与性能的倍增。