Profile

徐云浪，男，湖南汨罗人，中南大学特聘副教授，博士生导师、硕士生导师。

主要从事高端集成电路装备和精密激光加工设备的精密运动台设计、精密电机设计、精密运动控制算法、智能控制算法、智能优化算法。主持国家自然科学基金面上项目、国家自然科学基金青C项目、国家重点研发计划课题、中国博士后科学基金/站前特别资助、中国博士后科学基金/面上项目、国家重点实验室开放课题、企业研发项目等，共计10项。参与国家科技重大专项、国家重点研发计划课题、上海市重大项目等，共计4项；在IEEE Transactions on Industrial Electronics，Knowledge-Based System，Mechanical Systems and Signal Processing，Nonlinear Dynamics等期刊上发表学术论文30余篇；获得授权专利12项，受理专利9项，其中9项成果实现成果转化900万（第一发明人7项）。

关键词：磁阻电机，强化学习，滑模控制，迭代学习，自适应神经网络控制，自适应卡尔曼补偿器，磁滞建模，智能优化算法。

欢迎机械、控制等专业同学报考本课题组博士、硕士研究生！联系方式：（Email: xuyunlang@csu.edu.cn）

与高端集成电路装备相关的项目如下：

(1) 国家自然科学基金委员会-面上项目,光刻机运动台永磁桥接磁阻电机耦合机理分析与高精度推力调控，主持

(2)国家重点研发计划课题, “聚焦离子束/电子束双束显微镜开发”项目课题：超精密五轴真空工作台开发, 主持

(3) 国家自然科学基金委员会-青年科学基金,磁阻电机近零刚度设计理论与高性能控制策略,主持

(4) 中国博士后科学基金委员会-面上项目, 面向全行程近零刚度磁阻电机的屈曲梁—板簧正交联接柔性导向机构研究,  主持

(5) 中国博士后科学基金委员会-站前特别资助, 光刻机高加速高精度运动台执行器技术研究,主持

(6)极端服役精准制造全国重点实验室自主课题，“光刻机运动台高力密度磁阻电机精准推力调控理论研究”，主持

(7)专用集成电路与系统国家重点实验室,开放课题, 光刻机运动台精密电机智能优化设计方法, 主持

(8)XXX半导体技术有限公司-技术开发项目：压电微动台控制模型及性能调试,主持

(9) 国家重点研发计划课题，”亚 5 纳米分辨率并行电子束集成电路芯片高通量检测装备关键技术”项目课题：高精度高稳定运动台与控制技术， 核心骨干

(10)国家科技重大专项，光刻机亚纳米精度运动控制技术研究，核心骨干

(11)上海市科委-重大项目，光刻机高性能运动控制技术研发，核心骨干

代表性专利

(1) 徐云浪; 苏新艺; 刘子东; 丁晨阳; 杨晓峰 ; 一种差分磁阻电机装置, 2022-08-05, 中国, ZL202111171609.1 (授权) 

(2) 徐云浪; 苏新艺; 郭亮; 杨晓峰 ; 一种磁阻式二维扫描运动装置, 2023-10-03, 中国, ZL202210154347.6 (授权) 

(3) 徐云浪; 苏新艺; 郭亮; 杨晓峰 ; 一种混合驱动微动台, 2024-11-19, 中国, ZL202210981688.0 (授权)

(4) 徐云浪; 潘大桐; 周海波 ; 一种电机柔性机构的设计方法、系统及磁阻电机, 2024-10-01, 中国, ZL202410987551.5 (授权) 

(5) 陈庆生; 杨晓峰; 徐云浪; 吴立伟 ; 光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法, 2020-10-27, 中 国, ZL201710007443.7 (授权)

(6) 杨晓峰; 张佩瑾; 徐云浪; 苏新艺; 吴立伟 ; 磁浮导轨运动平台, 2023-02-03, 中国, ZL201910922776.1 (授权)