炭/炭复合材料化学气相沉积工艺进展
发布时间：2021-07-17
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所属单位：中南大学
发表刊物：粉末冶金材料科学与工程
关键字：炭/炭复合材料;化学气相沉积（CVD）;工艺
摘要：对多种化学气相沉积工艺进行了分析对比,指出在炭/炭复合材料的研制与开发中,以等温等压（ICVD）的工艺为最优。该工艺能很好地控制工艺参数,特别是对于装了大量异形件的高炉膛,所沉积的样件不仅密度均匀而且性能稳定,虽然其工艺周期较长,但在实际生产中,可以通过多料柱的高炉膛来降低成本,是比较成熟、稳定的生产工艺。近年来兴起的其他工艺,主要关注沉积速度和沉积机理,大多局限于实验室研究,距工业化大生产还有很大的距离
论文类型：期刊论文
学科门类：工学
一级学科：材料科学与工程
文献类型：J
卷号：11
期号：5
页面范围：262-267
是否译文：否
发表时间：2006-10-17
收录刊物：EI