基于集成法布里-珀罗微腔阵列的16 通道快照式多光谱成像
发布时间：2024-04-07点击次数：
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DOI码：10.7498/aps.73.20231775
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所属单位：中南大学
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发表刊物：物理学报
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刊物所在地：北京
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项目来源：湖南省自然科学基金(批准号: 2022JJ30717)
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关键字：微腔, 快照式, 多光谱成像, 探测器
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摘要：通过将窄带法布里-珀罗微腔阵列与可见光探测器焦平面阵列粘贴集成, 展示了一种微小紧凑型多光谱成像探测器. 通过四次分形组合蚀刻工艺, 先在石英基底上获得了以4×4 为基本重复单元、共计2048 像素×2048 像素的微腔滤光阵列; 再与探测器芯片贴合后形成了微小型多光谱成像探测器. 微区光谱检测表明,微腔阵列样品的响应光谱峰值在520—680 nm之间变化, 半峰处的全宽小于10 nm, 透过率约70%. 可调谐波长单色光合作光源检测表明, 该多光谱成像探测器具有16 个不同的窄带响应谱; 利用光谱通道能清晰分辨目标特征光谱; 通过光谱通道图像相减, 能有效消除视野中背景, 提高目标对比度. 它有望应用于皮肤表面观测等辅助诊断, 以及逆光条件下目标观测的高动态范围成像等.
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合写作者：文之豪, 朱海碧涛, 李欣幸
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第一作者：方靖岳
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论文类型：期刊论文
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通讯作者：邓联文
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学科门类：工学
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一级学科：电子科学与技术
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文献类型：J
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卷号：73
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期号：7
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页面范围：074205
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ISSN号：1000-3290
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是否译文：否
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CN号：11-1958/O4
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发表时间：2024-04-05
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收录刊物：SCI
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方靖岳
个人信息
硕士生导师- 教师拼音名称：fangjingyue
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- 入职时间：2021-12-30
- 所在单位：电子信息学院
- 学历：博士研究生毕业
- 性别：男
- 学位：理学博士学位
- 在职信息：在职
- 毕业院校：国防科技大学
其他联系方式
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