中南大学孙健

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Room Temperature Inductively Coupled Plasma Etching of InAs/InSb in BCl3/Cl2/Ar

发布时间：2018-07-03

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发表刊物：Microelectronic Engineering

合写作者：J. Kosel, J. Sun*

卷号：98

页面范围：222

是否译文：否

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