随着第四次工业革命的不断推进，半导体芯片在新能源、智能电网、先进医疗与4C等高新技术领域的的应用愈发广泛。因其具有“点石成芯”的特性，半导体制造行业门槛极高，已被我国列入“卡脖子”技术重点方向。目前我国已成功研制离子注入机、刻蚀机等30余种半导体制造装备，但其中的部分关键电力电子装置仍然依赖进口，严重受制于人。射频电源、引出电源与溅射电源等电力电子装置在半导体生产制造流程中占据着举足轻重的地位，对纹波、精度、动态响应、可靠性、稳定性与环境适应性等性能指标的要求非常高，研发难度大，目前几乎被国外厂家垄断。随着核心半导体设备国产化进程的加快，攻克半导体制造领域关键电力电子装置的核心技术，打破国外厂商的垄断，实现其国产替代具有重要意义。