半导体制造装备领域核心电源关键技术研究与应用
发布时间：2024-01-05
点击次数：
所属单位：自动化学院
负责人姓名：王辉
项目来源单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究类别：长沙市科技计划项目
项目性质：纵向
说明：“揭榜挂帅”重大科技项目
项目编号：Z202112210610001
立项时间：2021-06-30
结项日期：2024-12-29
开始日期：2021-06-30
项目批准号：kq2102006
资助额度：1600.0
半导体制造装备领域核心电源关键技术研究与应用
发布时间：2024-01-05
点击次数：
所属单位：自动化学院
负责人姓名：王辉
项目来源单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究类别：长沙市科技计划项目
项目性质：纵向
说明：“揭榜挂帅”重大科技项目
项目编号：Z202112210610001
立项时间：2021-06-30
结项日期：2024-12-29
开始日期：2021-06-30
项目批准号：kq2102006
资助额度：1600.0