Release time:2026-07-07
Status:在研
Nature of Project:国家重点研发计划项目课题
Project level:National
Pre One:超精密化合物半导体原子层沉积设备关键技术研究及应用
Next One:力热交互场域影响下精密龙门加工中心时空波动机理及稳定性提升方法
The Last Update Time:..