一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法
发布时间：2025-09-12
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所属单位：中南大学
学校署名：中南大学
专利说明：本发明公开了一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法，首先通过采样电路模块获取射频电源的输出电压和输出电流，然后通过特定的判别准则区分微弧和硬弧，并采取相应的控制策略进行抑弧处理，最终实现对电弧的快速检测和有效抑制，提高薄膜沉积质量，避免工件表面产生不可逆的损伤，最后即可设计等离子体射频电源的最优微弧参数，通过调整微弧中断时间、电压阈值和电流阈值，并记录硬弧和软弧的频次，计算出最优的微弧中断时间及相关参数，以实现对微弧的最佳处理。通过使用本发明所提出的等离子体射频电源电弧检测及抑制技术，可以及时检测和抑
授权号：ZL202310977850.6
发明人数：4
是否职务专利：否
授权日期：2025-08-12