一种频率选择型射频电源及柔性变频控制方法
发布时间：2025-09-12
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所属单位：中南大学
学校署名：中南大学
专利说明：本发明公开了一种频率选择型射频电源及柔性变频控制方法，本发明中的频率选择型射频电源主要包括经过改进的射频电源主电路拓扑及与其配套的柔性调频控制技术；射频电源主电路拓扑包括AC/DC整流模块，DC/DC高频隔离模块，DC/AC逆变模块和控制模块，柔性调频控制方法是通过对锁相环的输入输出控制实现射频电源的柔性调频以及多个射频电源的一定同步关系构建。本申请一方面解决了射频电源偏离额定工作点处产生的输出特性恶化问题，另一方面也可方便的实现对多个射频电源同步输出的控制，扩展了等离子体射频电源的射频输出范围和应用范围
授权号：ZL202310756243.7
发明人数：4
是否职务专利：否
授权日期：2024-11-05