Language : English
ZHENG Yu

Patents

一种用于光波导晶圆生产的湿法清洗装置及其使用方法

Affilication of Author(s):湖南新中合光电科技股份有限公司

School Sign:中南大学

Patent Applicant:湖南新中合光电科技股份有限公司

Disigner of the Invention:余朝晃, 彭彦斌, 郑煜, 陈波

Note:20180515 授权 20161026 实质审查的生效 20160928 公开

Type of Patent:Invent

State of Patent:Authorized patents

Application Number:201610366976.X

Service Invention or Not:no