一种用于光波导晶圆生产的湿法清洗装置及其使用方法
发布时间：2016-09-22
点击次数：
所属单位：湖南新中合光电科技股份有限公司
学校署名：中南大学
申请专利人：湖南新中合光电科技股份有限公司
发明设计人：余朝晃, 彭彦斌, 郑煜, 陈波
备注：20180515 授权 20161026 实质审查的生效 20160928 公开
专利类型：发明
专利状态：授权专利
申请号：201610366976.X
是否职务专利：否
一种用于光波导晶圆生产的湿法清洗装置及其使用方法
发布时间：2016-09-22
点击次数：
所属单位：湖南新中合光电科技股份有限公司
学校署名：中南大学
申请专利人：湖南新中合光电科技股份有限公司
发明设计人：余朝晃, 彭彦斌, 郑煜, 陈波
备注：20180515 授权 20161026 实质审查的生效 20160928 公开
专利类型：发明
专利状态：授权专利
申请号：201610366976.X
是否职务专利：否