一种光波导晶圆表面检测装置
发布时间：2016-09-22
点击次数：
所属单位：中南大学
学校署名：中南大学
申请专利人：中南大学
发明设计人：郑煜
备注：2016-08-17 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20160527 2016-07-20 公开
专利类型：发明
专利状态：授权专利
申请号：201610365081.4
授权号：ZL201610365081.4
是否职务专利：否
第一作者：郑煜
一种光波导晶圆表面检测装置
发布时间：2016-09-22
点击次数：
所属单位：中南大学
学校署名：中南大学
申请专利人：中南大学
发明设计人：郑煜
备注：2016-08-17 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20160527 2016-07-20 公开
专利类型：发明
专利状态：授权专利
申请号：201610365081.4
授权号：ZL201610365081.4
是否职务专利：否
第一作者：郑煜