复合能场作用下微互连界面的微结构演变规律
发布时间:2016-04-09
点击次数:
所属单位:中南大学
项目状态:Completed
项目来源单位:科技部
成果形式:论文
项目分类:国家重点基础研究发展计划(973计划)
项目性质:应用基础研究
项目编号:2003CB716202
学科门类:机械工程
结项日期:2008-12-30
开始日期:2004-01-01
复合能场作用下微互连界面的微结构演变规律
发布时间:2016-04-09
点击次数:
所属单位:中南大学
项目状态:Completed
项目来源单位:科技部
成果形式:论文
项目分类:国家重点基础研究发展计划(973计划)
项目性质:应用基础研究
项目编号:2003CB716202
学科门类:机械工程
结项日期:2008-12-30
开始日期:2004-01-01